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UN EXPERT À VOTRE SERVICE :

Solutest conçoit et réalise des logiciels pour bancs de test automatiques, systèmes d’acquisition et de traitement de données. Nous sommes un bureau d’étude spécialisé dans la mesure physique et l’intégration en environnement LabVIEW.

DES PRESTATIONS A LA HAUTEUR DE VOS ATTENTES :

La satisfaction de nos clients est notre priorité numéro une. Nous mettons tout en œuvre afin de fournir des solutions pérennes et évolutives. Nous annotons et documentons systématiquement le code que nous produisons pour vous.

Résistivimètre

Résistivimètre de surface pour le contrôles des dépôts métalliques sur tranche de silicium

Le Challenge:

Créer un instrument de mesure de résistivité de surface à bas coût permettant la cartographie d’une tranche de silicium 150mm.

La mesure de la résistivité de surface d’un matériau conducteur permet en effet d’en calculer son épaisseur. Il devient ainsi possible de caractériser l’homogénéité d’un dépôt en couche mince. C’est un paramètre important dans la fabrication des systèmes sur tranche de silicium.

Le matériel:

- Table motorisée X-Y 150mm LANG MCL
- Source de courant AOIP SN8310
- Multimètre HP3478
- Tête de mesure Jandel 4 pointes en lignes pour mesure Kelvin.
- Commande de l’électrovanne de l’axe Z à partir du port parallèle du PC et de quelques composants électroniques.

La Solution:

Écriture en LabVIEW des drivers RS232 et GPIB des différents instruments. Écriture d’un logiciel intégrant deux modes:

- Engineering: Scan complet d’une plaque avec une résolution variable pour créer une cartographie (photo du haut).
- Production: Mesure sur 5 ou 9 points de la plaque avec indicateurs statistiques.